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अर्धचालकों में सटीक क्वार्ट्ज घटकों का अनुप्रयोग

सेमीकंडक्टर उद्योग में, क्वार्ट्ज का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। और उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज उत्पाद वेफर उत्पादन में महत्वपूर्ण उपभोक्ता हैं। अर्धचालक क्षेत्र में क्वार्ट्ज घटकों का मुख्य अनुप्रयोग वाफर फाउंड्री में विसरण और एचिंग प्रक्रिया है, जिसे उच्च तापमान क्षेत्र उपकरणों और कम तापमान क्षेत्र उपकरणों में विभाजित किया जा सकता है। उपयोग किए जाने वाले मुख्य उपकरण इस प्रकार हैंः


उच्च तापमान क्षेत्र में पेनादार उपकरण मुख्य रूप से भट्ठी, कांच की नाव आदि हैं जिनका उपयोग विसरण ऑक्सीकरण ऑक्सीकरण और अन्य प्रक्रियाओं में किया जाता है। उन्हें उच्च तापमान वाले वातावरण में सिलिकॉन वाफर्स के साथ प्रत्यक्ष या अप्रत्यक्ष संपर्क होना चाहिए। नकली सिलिका ग्लास सामग्री खरीदने के बाद, इन उपकरणों का उत्पादन थर्मल प्रसंस्करण के माध्यम से किया जाएगा।


नीचे दिए गए चित्र में नकली सिलिका ट्यूब के आंतरिक अवशिष्ट तनाव को नियंत्रित करते समय, एक मैनुअल मात्रात्मक का उपयोग करने की सिफारिश की जाती है।ग्लास पोलराइस्कोप(मॉडल नहीं PSV-413) आप सहज रूप से और स्पष्ट रूप से देख सकते हैं कि तनाव कहां केंद्रित है और तनाव के अस्तित्व के कारण ऑप्टिकल रेटिडरेशन मूल्य को मापें। 1. तनाव नीले रंग की स्थिति पर केंद्रित है। जब हम मात्रात्मक माप विधि (सेनारमोंट विधि) पर स्विच करते हैं, तो आकृति 1 में नीले क्षेत्र को आकृति 2 में बदल देता है। जब हम धीरे-धीरे शीर्ष विश्लेषक पर पैमाने को चालू करते हैं, तो आकृति 2 में सफेद क्षेत्र का रंग धीरे-धीरे गहरा हो जाएगा जब तक कि यह आंकड़ा 3 में गहरे भूरे रंग के क्षेत्र में बदल नहीं जाता है।

Application of Precision Quartz Components in Semiconductors


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आकृति 1


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आकृति 2


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चित्र 3


कम तापमान वाले क्षेत्र में उपकरणों को छोटा करना मुख्य रूप से एचिंग प्रक्रिया में क्वार्ट्ज छल्ले हैं, और सफाई प्रक्रिया के दौरान फूलों की टोकरी और सफाई टैंक. गैस-रिफाइंड क्वार्ट्ज ग्लास खरीदने के बाद, इन उपकरणों को कोल्ड प्रोसेसिंग के माध्यम से उत्पादित किया जाता है। नीचे चित्र में क्वार्ट्ज सफाई टैंक हाथ से फायरिंग द्वारा बनाया गया है। अपने आंतरिक अवशिष्ट तनाव को नियंत्रित करते समय, एक बढ़े हुए हैंडहेल्ड पोलराइस्कोप (मॉडल नो PSV-202-DL) का उपयोग करने की सिफारिश की जाती है।


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